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激光气相沉积网站域名推广网络推广方案

发布时间 :2019-11-18  


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激光气相沉积也称为脉冲激光气相沉积技术,属于激光加工技术的一种。激光化学气相沉积是在真空室内放置基体,通入反应原料气体,在激光束作用下与基体表面及其附近的气体发生化学反应,在基体表面形成沉积薄膜。根据作用机理又分别称为:光解激光化学气相沉积、热解激光化学气相沉积和光热联合。热解激光化学气相沉积设备布置,其由反应室、工作台、抽气系统、供气系统和激光系统等主要部分组成。光解激光化学气相沉积是让激光束在稍高于基体表面平行入射,这也是与热解激光化学气相沉积较为明显的一个区别。